1200℃預(yù)加熱滑動(dòng)雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
- 產(chǎn)品描述
- 技術(shù)參數(shù)
- 聯(lián)系我們
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銷售熱線：15122725930
產(chǎn)品應(yīng)用：
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。
產(chǎn)品組成：
PECVD系統(tǒng)配置：
1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐
2.滑動(dòng)系統(tǒng)分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng)，并配置管內(nèi)測溫系統(tǒng)。
3.預(yù)加熱開啟式管式電爐
4.等離子射頻電源
5.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
6.真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空）
產(chǎn)品特點(diǎn)：
生長溫度低；沉積速率快；成膜質(zhì)量好，適用范圍廣，設(shè)備簡單。
關(guān)鍵詞：
聯(lián)系方式
地址: 天津北辰科技園區(qū)雙川道11號(hào)
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